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產(chǎn)品分類：

產(chǎn)品概述

高精度白光干涉儀Nano120 Nano 120

本產(chǎn)品主要用于nm級精度3D微結(jié)構(gòu)測量領(lǐng)域。設(shè)備基于白光干涉術(shù)原理，對干涉包絡(luò)快速高精度解析虛擬探針與工件相交的精準位置，精準測量工件表面形貌。

產(chǎn)品詳情

技術(shù)參數(shù):

全自動測量系統(tǒng)

設(shè)備具無損非接觸、定位精度高、適應(yīng)工業(yè)快速測量

產(chǎn)品應(yīng)用：

微納材料、精密光學(xué)面型、半導(dǎo)體工業(yè)等產(chǎn)品測試工藝

適合研發(fā)、實驗室驗證等