產(chǎn)品概述

固晶機

該固晶機是一款搭載自動晶圓處理系統(tǒng)，可處理多種規(guī)格的晶圓，穩(wěn)定、快捷、精度高，同時支持倒裝、疊晶工藝的全自動芯片貼裝設(shè)備，該設(shè)備配備快速可靠的線性馬達及精密的運動貼合頭，提供穩(wěn)定可靠的貼合壓力，貼合性能良好

核心技術(shù)

● 高精度：XY位置度± 10μm@3σ ; 旋轉(zhuǎn)精度± 0.2°@3σ

● 高效率： UPH≥ 2200

● 高兼容：可兼容彈夾上料，疊片上料兩種上料模式；可兼容6”/8”/12”晶圓

主要特點

● 精確Bond力控系統(tǒng)

● 支持VCSEL/CIS芯片/DOE等精密元件貼合工藝

● 良率高：對標進口設(shè)備，滿足客戶良率要求

● 快速切換：設(shè)備耦合產(chǎn)品種類齊全，基本覆蓋現(xiàn)有產(chǎn)品，可兼容不同機型產(chǎn)品穩(wěn)定生產(chǎn)

● 全自動作業(yè)：從上載上料-畫膠-晶圓上料-貼合-晶圓下料-載板下料全流程自動化生產(chǎn)

● 軟件擴展性高：軟件整體風格與操作習(xí)慣基本參照進口設(shè)備，操作上手快；可靈活定制不同檢測算法

應(yīng)用領(lǐng)域

● 消費3C、汽車電子、光通訊、半導(dǎo)體封測

● 芯片鍵合、適合量產(chǎn)